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超高真空的真空泵?都有哪些呢?

高真空應(yīng)用領(lǐng)域是當(dāng)壓力超過10^-5Pa之后就進(jìn)入到了。這個時候，多數(shù)真空泵的抽氣作用已經(jīng)停止或者抽速很低。那這個時候用來實現(xiàn)超高真空的真空泵都有哪些呢?　　第一種，擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵對惰性氣體有著很好的抽氣作用，比如即使在10^-13Pa壓力......

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